华灿光电与澳企合作 共探RPCVD技术应用

 澳大利亚公司BluGlass有限公司宣布，它将与中领先的LED芯片厂商华灿光电合作，探索氮化铝（AlN）低温沉积在高亮度LED上的应用，并探索RPCVD在绿色LED生产上的优势。通过该合作协议，华灿光电将为BluGlass提供4英寸晶圆产品，并制造用于测试的LED器件。 

    通过该协议，BluGlass打算为华灿光电系统演示其具备成本和性能优势的低温远程等离子体化学气相沉积(RPCVD)技术，可用于绿色LED的p-GaN层低温沉积。该公司还计划探索在蓝宝石衬底上采用氮化铝（AlN）低温沉积用于高亮度LED的制造。 

    BluGlass 2015年从澳大利亚悉尼麦考瑞大学三族氮化物部门独立出来之后，研发了一种在玻璃衬底上使用远距离等离子低压化学气相沉积（RPCVD）氮化镓（GaN）和氮化镓铟(InGaN)等材料的低温工艺。此工艺生产的发光二级管（LED）和太阳能电池具有节省成本、吞吐量大和效率高等优势。BluGlass拥有该项技术在美、中、欧洲和日本等主要半导体市场的专利权。 

    而华灿光电是中著名的LED芯片制造商，公司致力于研发、生产、销售以GaN基蓝、绿光系列产品为主的高质量LED外延材料与芯片，拥有际领先的技术研发能力和成熟的生产工艺。 

    据悉，两家公司预计发展需要若干次迭代以演示其性能的能力。华灿将使用BluGlass的新RPCVD腔室设计，以提高PRCVD沉积的均匀性用来制造LED。华灿预计在未来几个月内委托BluGlass打造RPCVD设备，双方将携手合作，改进工艺，促使BluGlass系统能够以低成本制造高效率高亮度的绿色和白色LED。